一种宽量程石墨烯高温压力传感器

摘要

本发明涉及高温压力测试领域，具体而言，涉及一种宽量程石墨烯高温压力传感器，传感器具体包括：键合基板、复合金属电极及传感器阵列，所述传感器阵列固定在键合基板上，所述复合金属电极嵌入在键合基板和传感器阵列之间；本发明通过传感器的阵列结构拓宽传感器的测试量程，通过传感器阵列上的敏感单元的阵列结构来提高传感器的可靠性。同时，敏感单元采用氮化硼/石墨烯/氮化硼的异质结构，使传感器有较好抗腐蚀性、耐高温性和瞬时响应。可见，宽量程石墨烯高温压力传感器实现了压力传感器的耐高温、高可靠性、高精度、瞬时响应、大量程等要求。

主权项

一种宽量程石墨烯高温压力传感器，其特征在于，包括：键合基板、复合金属电极及传感器阵列，所述传感器阵列固定在键合基板上，所述复合金属电极嵌入在键合基板和传感器阵列之间；所述传感器阵列由M个单元传感器组成，所述M个单元传感器采用1×M的排列方式固定在键合基板上，每个单元传感器的结构相同，厚度不相同，所述传感器单元包括N个敏感单元；复合金属电极包括主电极及接触点，所述接触点溅射于主电极一侧的中心区域；键合基板刻蚀有接触孔，接触孔的位置和接触点的位置对应；所述单元传感器包括一第一氮化硼层、N个中间石墨烯层及N个第二氮化硼层，所述第一氮化硼层下表面和N个中间石墨烯层的一侧面完全覆盖相连，N个中间石墨烯层之间相互存在间隙，所述N个中间石墨烯的另一侧面中间区域和第二氮化硼层的上表面接触相连，所述第一氮化硼层、一中间石墨烯层及一第二氮化硼层构成一个敏感单元，所述一个单元传感器具有N个敏感单元，所述N个敏感单元的结构相同，厚度相同。