| 摘要 |
본 발명은 하전입자 빔 조사각도를 조절하기 위한 장치 및 방법에 관한 것으로서, 하전입자 빔을 방출하는 하전입자 빔 소스; 상기 하전 입자 빔 소스와 하기 경통사이를 연결하며, 센터링과 오링의 결합에 의해 이루어지는 각도 조절장치; 및 상기 각도조절장치와 연결되며, 전기장 또는 자기장에 의해 상기 하전입자 빔을 집속하며, 하전입자 빔 프로브를 형성시키는 집속렌즈군을 포함하는 경통부;를 포함하는 하전입자 빔 조사각 조절 장치에 관한 것이다. |
