| 摘要 |
도공액 도포 장치(27)의 도공 스테이지(30)에 얹어 놓인 부재의 상방으로부터 도공액을 도포하는 슬릿(14)의 폭을 조정하는 심 플레이트(13)를 한 쌍의 다이 헤드 부재(12a, 12b)로 끼워서 다이 헤드 본체(11)를 형성하고, 다이 헤드 본체(11)는, 내부에 슬릿(14)에 공급하기 위한 도공액을 1차 저류하기 위한 매니폴드(19)와, 매니폴드(19)에 도공액을 공급하기 위한 도공액 주입부(15)와, 매니폴드(19)에 체류하는 공기를 빼기 위한 공기 빼기부(16a, 16b)를 가지고, 또한, 슬릿(14)의 선단 위치의 높이와 동일한 높이로 마련된 다리부(18)와, 도공 스테이지(30) 표면까지의 거리를 측정하는 복수개의 센서(17a, 17b)를 가진다. 상기 구성에 의해, 다이 헤드(10)와 도공 스테이지(30)를 평행하게 유지할 수 있다. |
