| 摘要 |
처리 장비의 유휴 모드를 검출하기 위한 방법들 및 장치가 본 명세서에서 제공된다. 몇몇 실시예들에서, 처리 시스템을 모니터링하기 위한 장치는 제1 처리 챔버를 모니터링하고 상기 제1 처리 챔버의 상태를 결정하기 위한 제1 시스템 어댑터; 및 상기 제1 처리 챔버에 결합된 제1 지원 시스템 및 상기 제1 시스템 어댑터와 통신하기 위한 제1 지원 어댑터를 포함하고, 상기 지원 어댑터는 상기 제1 처리 챔버의 상태가 유휴 모드에 있다는 것에 응답하여 저 전력 모드에서 상기 제1 지원 시스템을 동작시키기 위해 상기 지원 시스템의 제어기로 준비상태(readiness)를 통신하도록 구성된다. |
