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发明名称
NANOPARTICLE FORMATION MITIGATION IN A DEPOSITION PROCESS
摘要
A system for depositing coating on a workpiece comprising a deposition chamber including at least one wall with a thermal barrier coating.
申请公布号
EP3012347(A2)
申请公布日期
2016.04.27
申请号
EP20150190417
申请日期
2015.10.19
申请人
UNITED TECHNOLOGIES CORPORATION
发明人
NEAL, JAMES W.;HAZEL, BRIAN T.;LITTON, DAVID A.;JORZIK, ERIC
分类号
C23C14/56
主分类号
C23C14/56
代理机构
代理人
主权项
地址
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