| 发明名称 | 具有特殊孔隙板的带电粒子显微镜 | ||
| 摘要 | 本发明涉及具有特殊孔隙板的带电粒子显微镜。一种带电粒子显微镜，包括：-样本保持器，用于保持样本；-源，用于产生带电粒子射束；-照射器，用于引导所述射束以便辐照所述样本；-检测器，用于检测响应于所述辐照而从样本发出的辐射通量；该照射器包括：-孔隙板，其包括在所述射束的路径中的孔隙区域，用于在射束撞击所述样本之前限定射束的几何形状，其中所述孔隙区域包括多个孔的分布，每个孔小于入射在所述孔隙板上的射束的直径。 | ||
| 申请公布号 | CN105529235A | 申请公布日期 | 2016.04.27 |
| 申请号 | CN201510677465.5 | 申请日期 | 2015.10.16 |
| 申请人 | FEI 公司 | 发明人 | P.波托塞克;F.M.H.M.范拉亚霍文;F.博霍贝;R.肖恩马克斯;P.C.蒂伊梅杰 |
| 分类号 | H01J37/26(2006.01)I;H01J37/147(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 周学斌;陈岚 |
| 主权项 | 一种带电粒子显微镜，包括：‑样本保持器，用于保持样本；‑源，用于产生带电粒子射束；‑照射器，用于引导所述射束以便辐照所述样本；‑检测器，用于检测响应于所述辐照而从样本发出的辐射通量；其中照射器包括：‑孔隙板，其包括在所述射束的路径中的孔隙区域，用于在射束撞击所述样本之前限定射束的几何形状，其特征在于所述孔隙区域包括多个孔的分布，每个孔小于入射在所述孔隙板上的射束的直径。 | ||
| 地址 | 美国俄勒冈州 | ||