一种火抛光辅助电感耦合等离子体加工方法

摘要

一种火抛光辅助电感耦合等离子体加工方法，它属于精密光学零件加工的技术领域。它的步骤一：启动加工电感耦合等离子体炬和火抛光电感耦合等离子体炬；步骤二：使火抛光电感耦合等离子体炬的火抛光电感耦合等离子体炬作用区位于加工电感耦合等离子体炬的加工电感耦合等离子体炬作用区运动方向前侧；步骤三：被加工件的上表面被加工件吸热，微裂纹发生融化修复作用；然后加工电感耦合等离子体炬对火抛光电感耦合等离子体炬作用区进行去除加工。本发明在对光学镜片加工时，使用火抛光电感耦合等离子体炬预处理，不会产生波纹度误差条件下部分修复微裂纹，进而使用大气等离子体加工，避免了等离子体加工损伤打开的效果，实现了高质量的光学加工。

主权项

一种火抛光辅助电感耦合等离子体加工方法，其特征在于它的方法步骤为：步骤一：启动双炬连接组件（3）上的加工电感耦合等离子体炬（1）和火抛光电感耦合等离子体炬（2），加工电感耦合等离子体炬（1）通入的工作气体为含氟气体，火抛光电感耦合等离子体炬（2）通入的气体为不含氟气体；步骤二：使火抛光电感耦合等离子体炬（2）的火抛光电感耦合等离子体炬作用区（2‑1）和加工电感耦合等离子体炬（1）的加工电感耦合等离子体炬作用区（1‑1）都处在被加工件（4）的上端面上，并使火抛光电感耦合等离子体炬（2）的火抛光电感耦合等离子体炬作用区（2‑1）位于加工电感耦合等离子体炬（1）的加工电感耦合等离子体炬作用区（1‑1）运动方向前侧；步骤三：开始对被加工件（4）的上表面加工，被加工件（4）的上表面经过火抛光电感耦合等离子体炬（2）时，高温的无氟等离子体喷射到被加工件（4）的上表面，被加工件（4）吸热，微裂纹发生融化修复作用，形成火抛光电感耦合等离子体炬作用区（2‑1）；被加工件（4）继续运动，加工电感耦合等离子体炬（1）对火抛光电感耦合等离子体炬作用区（2‑1）进行去除加工，实现高质量加工。