发明名称 |
开关元件、半导体装置、半导体装置的制造方法 |
摘要 |
本发明涉及的开关元件的特征在于,具有:衬底;第1栅极焊盘,其形成在该衬底;第2栅极焊盘,其形成在该衬底;第1电阻部,其形成在该衬底,将该第1栅极焊盘与该第2栅极焊盘连接;以及单元区域,其形成在该衬底,与该第1栅极焊盘连接。由此,在完成栅极电阻内置型的开关元件之后,能够进行该开关元件的栅极电阻值的测量和栅极电阻的选择。 |
申请公布号 |
CN105531814A |
申请公布日期 |
2016.04.27 |
申请号 |
CN201380079465.4 |
申请日期 |
2013.09.09 |
申请人 |
三菱电机株式会社 |
发明人 |
长谷川滋;森下和博;木谷刚 |
分类号 |
H01L21/822(2006.01)I;H01L27/04(2006.01)I;H01L29/41(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L29/49(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/822(2006.01)I |
代理机构 |
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 |
代理人 |
何立波;张天舒 |
主权项 |
一种开关元件,其特征在于,具有:衬底;第1栅极焊盘,其形成在所述衬底;第2栅极焊盘,其形成在所述衬底;第1电阻部,其形成在所述衬底,将所述第1栅极焊盘与所述第2栅极焊盘连接;以及单元区域,其形成在所述衬底,与所述第1栅极焊盘连接。 |
地址 |
日本东京 |