发明名称 开关元件、半导体装置、半导体装置的制造方法
摘要 本发明涉及的开关元件的特征在于,具有:衬底;第1栅极焊盘,其形成在该衬底;第2栅极焊盘,其形成在该衬底;第1电阻部,其形成在该衬底,将该第1栅极焊盘与该第2栅极焊盘连接;以及单元区域,其形成在该衬底,与该第1栅极焊盘连接。由此,在完成栅极电阻内置型的开关元件之后,能够进行该开关元件的栅极电阻值的测量和栅极电阻的选择。
申请公布号 CN105531814A 申请公布日期 2016.04.27
申请号 CN201380079465.4 申请日期 2013.09.09
申请人 三菱电机株式会社 发明人 长谷川滋;森下和博;木谷刚
分类号 H01L21/822(2006.01)I;H01L27/04(2006.01)I;H01L29/41(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L29/49(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I 主分类号 H01L21/822(2006.01)I
代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人 何立波;张天舒
主权项 一种开关元件,其特征在于,具有:衬底;第1栅极焊盘,其形成在所述衬底;第2栅极焊盘,其形成在所述衬底;第1电阻部,其形成在所述衬底,将所述第1栅极焊盘与所述第2栅极焊盘连接;以及单元区域,其形成在所述衬底,与所述第1栅极焊盘连接。
地址 日本东京