一种(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)₂-Ag/TiAlN纳米多层涂层

摘要

一种(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)₂-Ag/TiAlN纳米多层涂层，它是由(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)₂-Ag复合涂层与TiAlN涂层交替层叠而成，其中(Ti,Al,Si)N-Mo(S,N)₂-Ag复合涂层厚度范围为5-8nm，其成分含量分别为Ti：15-20at%，Al:15-20at%，Si：5-10at%，Mo：5-10at%，Ag：10-15at%，N：28-36at%，S：5-10at%；其中TiAlN涂层厚度范围为15-20nm，其成分含量分别为Ti：20-30at%，Al：20-30at%，N：48-50at%；本发明在室温-800℃温度范围内能够始终保持较低的摩擦系数和优良的抗磨损性能，可广泛应用于刃具等机械加工行业，对推动绿色加工行业的发展并节能降耗，具有重要的实际意义。

主权项

一种(Ti,Al,Si)N‑Mo(S,N)₂‑Ag/TiAlN纳米多层涂层，其特征在于，它是由(Ti,Al,Si)N‑Mo(S,N)₂‑Ag复合涂层与TiAlN涂层交替层叠而成，其中(Ti,Al,Si)N‑Mo(S,N)₂‑Ag复合涂层厚度范围为5‑8nm，其成分含量分别为Ti：15‑20at%，Al：15‑20at%，Si：5‑10at%，Mo：5‑10at%，Ag：10‑15at%，N：28‑36at%，S：5‑10at%；其中TiAlN涂层厚度范围为15‑20nm，其成分含量分别为Ti：20‑30at%，Al：20‑30at%，N：48‑50at%。