薄膜太阳能电池模块及其制造方法

摘要

本发明的薄膜太阳能电池模块的特征是，在透明导电性氧化物膜(2)上形成有保护涂膜(3)，分割光电转换层(4)的第二分离沟(P2)的顶端位于透明导电性氧化物膜(2)内，藉此，即使在由于激光刻划的实施而保护涂膜(3)发生热变性、其电阻值增加的情况下，由于在第二分离沟(P2)内所形成的背面电极层(5)与透明导电性氧化物膜(2)电连接，所以可抑制电阻引起的电力损失。

主权项

一种薄膜太阳能电池模块的制造方法，该薄膜太阳能电池模块是在基体上依次层叠透明导电性氧化物膜、保护涂膜、光电转换层和背面电极层而形成的，具有多个薄膜太阳能电池单元，该多个薄膜太阳能电池单元是比所述基体更靠上部的层在与所述基体大致垂直的方向上被多个分离沟分割而成的，邻接的所述薄膜太阳能电池单元之间电串联连接，其特征在于，包括：在所述基体上形成所述透明导电性氧化物膜的工序；在所述透明导电性氧化物膜上形成以氧化钛作为主成分且含有氧化锡的保护涂膜的工序；和采用激光刻划法在所述透明导电性氧化物膜和所述保护涂膜上形成第一分离沟，将所述透明导电性氧化物膜和所述保护涂膜分割的透明导电性氧化物膜和保护涂膜的图案化工序；在所述第一分离沟内和所述保护涂膜上形成所述光电转换层的工序；采用激光刻划法在所述光电转换层形成第二分离沟，将所述光电转换层分割的光电转换层的图案化工序；在所述第二分离沟内和所述光电转换层上形成所述背面电极层的工序；采用激光刻划法在所述背面电极层和光电转换层形成第三分离沟，将所述背面电极层和光电转换层分割的背面电极层和光电转换层的图案化工序；以使所述第二分离沟的顶端位于所述透明导电性氧化物膜内的条件实施所述光电转换层的图案化工序。