压印装置、压印方法和制造物品的方法

摘要

本发明提供一种用于执行压印处理的压印装置，通过所述压印处理，使用具有其上形成了图案的图案区的模具来模制基板上的压印材料，从而将所述图案转印到基板上，所述压印装置包括：检测器，其被配置为检测形成在基板上的多个压射区中的每个中的标记；变形单元，其被配置为使所述图案区变形；和控制器，其被配置为控制所述压印处理。

主权项

一种用于执行压印处理的压印装置，通过所述压印处理，使用具有其上形成了图案的图案区的模具来模制基板上的压印材料，所述压印装置包括：检测器，所述检测器被配置为检测形成在所述基板上的多个压射区中的每个中的标记；变形单元，所述变形单元被配置为使所述图案区变形；和控制器，所述控制器被配置为控制所述压印处理，其中，所述多个压射区包括第一压射区和第二压射区，在所述第一压射区中，形成要被形成在一个压射区中的所有标记，在所述第二压射区中，形成要被形成在一个压射区中的所有标记中的一些标记，并且当对所述第二压射区执行压印处理时，所述控制器基于来自所述检测器的检测结果来对准所述模具和所述基板，从由所述检测器通过检测形成在第一压射区中的标记而获得的结果计算第二压射区的形状，并通过使用所计算的第二压射区的形状来控制所述变形单元对所述图案区的变形量。