磁力计

摘要

一种磁力计，包括一个悬浮的质量块，一组Y方向位移侦测电极，一组Z方向位移侦测电极，以及一电流供应模块；其中，该质量块、该Y方向位移侦测电极与Z方向位移侦测电极分别包括若干金属层与介于任二金属层间的介电层；该质量块中，对应于该Y方向位移侦测电极的部分，以及对应于该Z方向位移侦测电极的部分，分别有至少二金属层通过通孔连接；该Y方向位移侦测电极包括二组电极，各组包括至少二层通过通孔连接的金属层，该Z方向位移侦测电极也包括二组电极，各组包括至少二层通过通孔连接的金属层；且该电流供应模块供应可选择的分别沿该X方向或Y方向流经该质量块的电流。

主权项

一种磁力计，包括一个悬浮的质量块，一组Y方向位移侦测电极，一组Z方向位移侦测电极，以及一电流供应模块；该Y方向代表该质量块所在平面上的两垂直方向中的一方向，且该Z方向代表垂直于该平面的方向；其中，该质量块的长度方向与该Y方向平行，并包括若干金属层与若干介电层，以介电层与金属层交互堆栈方式形成；该Y方向位移侦测电极与Z方向位移侦测电极分别包括若干金属层与介于任二金属层间的介电层；该质量块中，对应于该Y方向位移侦测电极的部分，有至少二金属层通过通孔连接；对应于该Z方向位移侦测电极的部分，有至少二金属层通过通孔连接；以及该Y方向位移侦测电极包括二组电极，各组包括至少二层通过通孔连接的金属层，该Z方向位移侦测电极也包括二组电极，各组包括至少二层通过通孔连接的金属层；以及该电流供应模块供应可选择的分别沿该X方向或Y方向流经该质量块的电流。