| 摘要 |
용제의 함유율이 높은 감광성 수지를 이용하여 포토리소그래피법에 따라 전기 회로를 피복하여도, 그 전기 회로가 적정하게 피복되어 있으며, 또한, 그 자체가 플렉시블성을 가지고 있는 광 전기 혼성 모듈을 제공한다. 이 광 전기 혼성 모듈은, 광 도파로(W)의 언더 클래드층(1)의 표면에, 광로용의 선형의 코어(2)와, 실장용 패드(4a)를 갖는 전기 회로(4)가 형성되어 있다. 또한, 그 실장용 패드(4a)에, 광 소자(5)가 그 전극(5a)을 접촉시킨 상태로 실장되어 있다. 실장용 패드(4a)를 제외한 전기 회로(4)의 부분 및 언더 클래드층(1)의 표면의 전기 회로 형성 부분 이외의 표면 부분이, 코어(2)의 일부와, 오버 클래드층(3)의 일부로 이루어지는 적층체(6)로 피복되며, 그 적층체(6)의 표면의 높이 위치가, 실장용 패드(4a)와 전기 회로(4) 사이의 언더 클래드층 부분에 대응하는 부분(B) 쪽이 전기 회로(4)에 대응하는 부분(A)보다 낮게 되어 있다. |
