蒸发镀膜工艺中的圆片固定装置

摘要

本实用新型公开了一种蒸发镀膜工艺中的圆片固定装置，其包括有工作腔室，工作腔室上端部设置有固定台；所述固定台的轴线位置设置有吸附管道，其连通至设置在工作腔室外部的真空吸附泵；所述吸附管道包括有第一管道与第二管道，第一管道与真空吸附泵进行连接，第二管道与固定台进行连接，第二管道延伸至第一管道内部，第一管道与第二管道的连接位置设置有密封圈；所述第二管道之上设置有从动齿轮，工作腔室的上端部设置有与从动齿轮相啮合的主动齿轮，主动齿轮由电机进行驱动；采用上述技术方案，其可使得圆片在实现其旋转加工的同时，避免常规固定方式对其表面进行损坏。

主权项

一种蒸发镀膜工艺中的圆片固定装置，其包括有工作腔室，工作腔室的下端面设置有用于放置金属物料的放置台，放置台内部设置有电热源，工作腔室上端部设置有用于固定圆片的固定台，固定台由设置在工作腔室外部的电机进行驱动；其特征在于，所述固定台的轴线位置设置有吸附管道，其连通至设置在工作腔室外部的真空吸附泵；所述吸附管道包括有第一管道与第二管道，第一管道与真空吸附泵进行连接，第二管道与固定台进行连接，第二管道延伸至第一管道内部，第一管道与第二管道的连接位置设置有密封圈；所述第二管道之上设置有从动齿轮，工作腔室的上端部设置有与从动齿轮相啮合的主动齿轮，主动齿轮由电机进行驱动。