电力用半导体器件检查用探针组件和使用其的检查装置

摘要

本发明的课题在于提供一种能够防止探针或半导体器件的通电所引起的温度上升、能够进行正确测定的电力用半导体器件检查用探针组件和使用其的检查装置。本发明通过提供如下的电力用半导体器件检查用探针组件和使用其的检查装置来解决上述课题，该电力用半导体器件检查用探针组件具有：具有多个探针收纳孔的探针座；多根探针，所述多根探针被分别收纳在各个所述探针收纳孔中，使所述探针的外周与所述探针收纳孔的内周接触，且使所述探针的在检查时与对象物接触的下端部从所述探针座突出；和对所述探针座进行冷却的一个或者两个以上的冷却单元。

主权项

一种电力用半导体器件检查用探针组件，其特征在于，具有：具有多个探针收纳孔的探针座；多根探针，所述多根探针被分别收纳在各个所述探针收纳孔中，使所述探针的外周与所述探针收纳孔的内周接触，且使所述探针的在检查时与对象物接触的下端部从所述探针座突出；和对所述探针座进行冷却的一个或者两个以上的冷却单元，所述探针座由金属构成，且在所述探针座内以及/或者探针座外具有冷却室，所述冷却单元之一是对所述冷却室供给冷却介质的冷却介质供给装置，所述冷却室具有冷却介质出口，该冷却介质出口在所述探针的所述下端部从所述探针座突出的方向上开口，所述冷却介质为气体。