晶圆作业控制系统

摘要

本发明公开了一种晶圆作业控制系统，所述系统包括存储模块和执行模块；所述存储模块储存有各批次晶圆进行生产工艺时需要经过的腔室顺序；其中一批次晶圆在进入一反应腔室进行生产工艺时，所述执行模块读取存储模块中储存该批次晶圆需要经过腔室的顺序并执行该操作，使得该批次晶圆分别在不同的腔室内完成所有的生产工序。技术人员通过本发明根据电学性能检测结果可很快判断出问题腔室所在及相应的生产设备，极大提高了发现问题工序的效率，同时还可根据实际情况及时调整各腔室内的工艺顺序，以适应各种生产情况。

主权项

一种晶圆作业控制系统，其特征在于，所述系统包括存储模块和执行模块；所述存储模块储存有各批次晶圆进行生产工艺时需要经过的腔室顺序；其中一批次晶圆在进入一腔室进行生产工艺时，所述执行模块读取存储模块中储存该批次晶圆需要经过腔室的顺序并执行操作，使得该批次晶圆分别在不同的腔室内完成所有的生产工序。