发明名称 AMOLED金属掩膜板
摘要 本发明公开了在一种用于蒸镀的掩膜板,其特征在于,所述掩膜板包括第一区和第二区,其中第一区对应显示区域,第二区对应过渡区域,并且所述第二区设置在第一区左右两侧;在所述第一区,设置有多条沿左右方向平行的狭缝;在所述第二区,设置有至少一列小孔,所述每列小孔中相邻的小孔之间设置有肋支撑部件。本发明提供的用于蒸镀的掩膜板,其张力的过渡和平衡的效果更加好,可降低显示区域蒸镀时发生边缘混色的风险;再者,可以比现有技术占用较少的区域,在空间上实现边框变窄;此设计还可以降低掩膜板制造难度,降低掩膜板费用。
申请公布号 CN103911583B 申请公布日期 2016.04.27
申请号 CN201210591703.7 申请日期 2012.12.29
申请人 上海天马微电子有限公司 发明人 毕德锋;叶添昇;向传义
分类号 C23C14/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I 主分类号 C23C14/04(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种用于蒸镀的掩膜板,其特征在于,所述掩膜板包括第一区和第二区,其中第一区对应显示区域,第二区对应过渡区域,并且所述第二区设置在第一区左右两侧;在所述第一区,设置有多条沿左右方向平行的狭缝;在所述第二区,设置有至少一列小孔,所述每列小孔中相邻的小孔之间设置有肋支撑部件;所述处于第一区的一个狭缝的长度等于第二区一列小孔及位于小孔之间的肋支撑部件的长度总和。
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