| 发明名称 | 真空蒸镀源加热系统和真空蒸镀系统 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种真空蒸镀源加热系统并且涉及具有该加热系统的真空蒸镀系统。所述真空蒸镀源加热系统能够安装到真空蒸镀系统中并且包括：设计用于加热蒸镀源的加热元件(1)，与加热元件电连接的用于向加热元件(1)提供电能的电源供应元件(2)；将电源供应元件(2)电连接到加热元件的连接件(3)，从而使电源供应元件以弹性的方式机械安装到连接件(3)，并且由此使得连接件包括由弹性的碳材料制成的弹簧元件(31)。 | ||
| 申请公布号 | CN104302806B | 申请公布日期 | 2016.04.27 |
| 申请号 | CN201380014110.7 | 申请日期 | 2013.03.06 |
| 申请人 | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 | 发明人 | J·马蒂亚松;M·克辛格;F·克劳泽;T·阿尔格伦;S·施泰因贝格 |
| 分类号 | C23C14/26(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;H01R4/26(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/26(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京维澳专利代理有限公司 11252 | 代理人 | 王立民 |
| 主权项 | 真空蒸镀源加热系统，安装在真空蒸镀系统中并且包括:‑设计用于加热蒸镀源的加热元件(1)，‑与所述加热元件电连接并用于向加热元件(I)提供电能的电源供应元件(2)；‑将电源供应元件(2)电连接到所述加热元件的连接件(3)，据此所述电源供应元件以弹性的方式机械安装至连接件(3)，并且据此所述连接件包括由弹性碳材料制成的弹簧元件(31)。 | ||
| 地址 | 100176 北京市北京经济技术开发区康定街11号11楼三层 | ||