硬质材料研磨用加速剂

摘要

本发明公开了一种硬质材料研磨用加速剂，该加速剂包括醇胺化合物、醇类化合物、聚丙烯酸盐、丙烯酸酯聚合物、表面活性剂、纤维素聚合物和水，pH值为7~13，其各组分的重量份为：醇胺化合物4~16份，醇类化合物4~40份，聚丙烯酸盐1~10份，丙烯酸酯聚合物10~50份，表面活性剂3~17份，纤维素聚合物1~15份和水2~27份。本发明对于大颗粒摩擦剂具有较好的悬浮分散作用，使所配研磨液在循环加工的过程中不易沉积到机器底部，并且能增强研磨液与蓝宝石晶片之间的化学作用，有效促进晶片表面水化，减轻晶片因纯粹物理机械作用而导致的界面损伤层，从而大大的提高了研磨去除率，使生产效率得到极大的提高。

主权项

一种硬质材料研磨用加速剂，其特征在于，该加速剂包括醇胺化合物、醇类化合物、聚丙烯酸盐、丙烯酸酯聚合物、表面活性剂、纤维素聚合物和水，pH值为7~13，其各组分的重量份为：醇胺化合物4~16份，醇类化合物4~40份，聚丙烯酸盐1~10份，丙烯酸酯聚合物10~50份，表面活性剂3~17份，纤维素聚合物1~15份和水2~27份，其中，所述的纤维素聚合物为羟乙基纤维素，所述的醇胺化合物包括乙醇胺和三乙醇胺，所述的醇类化合物包括聚乙二醇、丙二醇和聚乙烯醇。