一种振动电容式静电传感器

摘要

本发明公开了一种振动电容式静电传感器，包括：感应极板，用于接近被测物感应输出静电信号；绝缘固定件，一端与所述振动装置固定，另一端与所述感应极板固定；振动装置，用于根据控制信号周期性振动带动所述感应极板沿着所述绝缘固定件的长度方向振动，其中所述感应极板振动的幅度小于1毫米；信号处理单元，与所述感应极板和所述振动装置分别电连接，用于输出所述控制信号以驱动所述振动装置振动，同时接收所述感应极板输出的所述静电信号，对所述静电信号处理后输出对应电压信号。本发明静电传感器能实现连续的静电测试，且信噪比低、便于安放布置。

主权项

一种振动电容式静电传感器，其特征在于，包括感应极板、绝缘固定件、振动装置和信号处理单元；所述感应极板，用于接近被测物感应输出静电信号；所述绝缘固定件，一端与所述振动装置固定，另一端与所述感应极板固定；所述振动装置，用于根据控制信号周期性振动带动所述感应极板沿着所述绝缘固定件的长度方向振动，其中所述感应极板振动的幅度小于1毫米；所述信号处理单元，与所述感应极板和所述振动装置分别电连接，用于输出所述控制信号以驱动所述振动装置振动，同时接收所述感应极板输出的所述静电信号，对所述静电信号处理后输出对应电压信号。