半导体机器人末端执行机构

摘要

本发明半导体机器人末端执行机构涉及机器人执行机构领域。其目的是为了提供一种能够对工作面垂直方向上的受力提供预警、降低维护成本、结构简单的半导体机器人末端执行机构。本发明半导体机器人末端执行机构包括控制系统和安装件，安装件内安装有第一压力传感器和第二压力传感器，第一压力传感器和第二压力传感器之间安装有铰链轴，铰链轴上固定有压板，压板的内侧面能够与第一压力传感器和第二压力传感器相接触，压板上安装有盖板，盖板将末端执行器的连接端与压板的外侧面固定连接，且连接端在压板上安装的方向与铰链轴垂直，控制系统用于将第一压力传感器和第二压力传感器的压力差值与设定压力差值比较，并发出预警信号。

主权项

一种半导体机器人末端执行机构，其特征在于：包括控制系统和安装件，安装件内安装有第一压力传感器和第二压力传感器，第一压力传感器和第二压力传感器之间安装有铰链轴，铰链轴的两端活动安装在安装件两个侧壁的轴孔上，铰链轴上固定有压板，压板能够随铰链轴共同转动，压板的内侧面能够与第一压力传感器和第二压力传感器相接触，压板上安装有盖板，盖板将末端执行器的连接端与压板的外侧面固定连接，且连接端在压板上安装的方向与铰链轴垂直，控制系统用于将第一压力传感器和第二压力传感器的压力差值与设定压力差值比较，并发出预警信号。