一种晶圆打墨印装置

摘要

本实用新型公开了一种晶圆打墨印装置，涉及半导体制造设备技术领域，包括水平底座和垂直底座，所述水平底座通过固定螺母与垂直底座相连，所述垂直底座上安装有固定支架，所述固定支架上安装有墨印器锁定夹，所述墨印器锁定夹上安装有墨印器。本实用新型晶圆打墨印装置，通过在水平底座开设伸缩孔，伸缩孔上安装有伸缩调节螺母来调节水平位置；垂直底座与固定支架之间通过安装高度调节螺母来调节高度；墨印剂垂直固定在支杆上，通过渔线接触晶粒完成打墨印动作，增大了晶圆与打墨印装置的距离，大大降低了刮伤晶圆的风险，有效避免了晶圆刮伤；具有结构简单、使用方便的特点，可以安装在针测机空间比较开阔的位置，方便人员操作。

主权项

一种晶圆打墨印装置，包括水平底座和垂直底座，所述水平底座通过固定螺母与垂直底座相连，所述垂直底座上安装有墨印剂固定支架，其特征在于：所述固定支架上安装有墨印器锁定夹，所述墨印器锁定夹上安装有墨印器。