发明名称 薄膜蒸着用マスクフレーム組立体及びその製造方法
摘要 A mask frame assembly using a plurality of stick-shaped split masks. The mask frame assembly includes a plurality of split masks, each of which includes a deposition pattern corresponding to a unit screen. Each of the split masks is formed of a plurality of partial masks to form the deposition pattern corresponding to a unit screen. Accordingly, the split masks accommodating a pattern corresponding to a large screen may be easily manufactured without an increase in the amount of etching errors.
申请公布号 JP5912416(B2) 申请公布日期 2016.04.27
申请号 JP20110237373 申请日期 2011.10.28
申请人 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd. 发明人 申 義 信;朴 宰 ▲せき▼;▲そう▼ 永 根;金 ▲かん▼ 冬;金 圭 範;許 ▲てい▼ 宇
分类号 C23C14/24;C23C14/04;H01L51/50;H05B33/10 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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