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经营范围
发明名称
電子銃、その駆動装置、およびその制御方法
摘要
申请公布号
JP5912835(B2)
申请公布日期
2016.04.27
申请号
JP20120110457
申请日期
2012.05.14
申请人
日本電子株式会社
发明人
後藤 和也
分类号
H01L21/027;G03F7/20;H01J37/248;H01J37/305
主分类号
H01L21/027
代理机构
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