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经营范围
发明名称
基板の搬送及び処理装置
摘要
申请公布号
JP5911170(B2)
申请公布日期
2016.04.27
申请号
JP20120104411
申请日期
2012.05.01
申请人
株式会社昭和真空
发明人
塩野 忠久;和田 基毅;大利 仲
分类号
H05K3/34;H05K13/02
主分类号
H05K3/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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