发明名称 基板の搬送及び処理装置
摘要
申请公布号 JP5911170(B2) 申请公布日期 2016.04.27
申请号 JP20120104411 申请日期 2012.05.01
申请人 株式会社昭和真空 发明人 塩野 忠久;和田 基毅;大利 仲
分类号 H05K3/34;H05K13/02 主分类号 H05K3/34
代理机构 代理人
主权项
地址