单层膜反射式平面金属光栅及其制作方法

摘要

本发明提供一种单层膜反射式平面金属光栅及其制作方法，属于基于干涉条纹的光学计量领域，解决了现有技术中反射式金属光栅信号对比度低、线条牢固度差、无法工程化，且制作工艺复杂、成本高的技术问题。本发明的单层膜反射式平面金属光栅，包括金属基底，镀在所述金属基底上的非反射层和反射层，非反射层与反射层均为铬膜，非反射层的厚度比反射层的厚度小。本发明还提供单层膜反射式平面金属光栅的制作方法。本发明的单层膜反射式平面金属光栅采用单层镀膜，制作出的光栅线条较细(≤10μm)、信号对比度大(＞2:1)、非反射层和反射层的牢固度好、易于工程化，且制作方法简单、成本低。

主权项

单层膜反射式平面金属光栅，包括：金属基底(1)；镀在所述金属基底(1)上的非反射层(4)和反射层(5)；其特征在于，非反射层(4)与反射层(5)均为铬膜，非反射层(4)的厚度比反射层(5)的厚度小。