アルミニウム化合物を用いたＡＬＤ法による薄膜の製造方法,申请号JP20120142927-传众专利搜索

发明名称	アルミニウム化合物を用いたＡＬＤ法による薄膜の製造方法
摘要
申请公布号	JP5912911(B2)	申请公布日期	2016.04.27
申请号	JP20120142927	申请日期	2012.06.26
申请人	株式会社ＡＤＥＫＡ	发明人	畑▲瀬▼ 雅子;桜井淳;白鳥翼
分类号	C23C16/40;H01L21/316	主分类号	C23C16/40
代理机构		代理人
主权项
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