可调整的进气口叶片式等离子体电子潮外壳

摘要

提供一种用于在离子植入系统中减少粒子污染的设备。该设备包括外壳(250)，该外壳具有入口(260)、出口(262)和至少一个进气口叶片侧(264)，所述至少一个进气口叶片侧具有在其内限定的多个进气口叶片(266)。离子植入系统的射束线(P)通过该入口和出口，其中所述至少一个进气口叶片侧的多个进气口叶片被配置成机械地过滤沿射束线行进的离子束的边缘。该外壳可具有两个进气口叶片侧(254A，B)和一个进气口叶片顶部(278)，其中当垂直于该射束线测量时，该外壳的入口和出口的各自的宽度大致由两个进气口叶片侧相对于彼此的位置限定。所述进气口叶片侧的一个或多个可调整地安装，其中该外壳的入口和出口中的一个或多个的宽度可控制。

主权项

一种用于在离子植入系统中减少粒子污染的设备，所述设备包括外壳，该外壳被配置成沿离子植入系统的射束线驻存，其中所述外壳具有入口、出口和至少一个进气口叶片侧，所述至少一个进气口叶片侧具有在其内限定的多个进气口叶片，其中所述入口的宽度小于所述出口的宽度，其中所述射束线穿过入口和出口，并且其中所述至少一个进气口叶片侧的多个进气口叶片被引导朝向外壳的入口以机械地过滤沿射束线行进的离子束的边缘，其中所述进气口叶片侧的至少一个被可调整地安装，其中所述外壳的入口和出口中的一个或多个的宽度是可调整的。