基于正交偏振光的双通道时空混合相移菲佐干涉仪

摘要

本发明公开了基于正交偏振光的双通道时空混合相移菲佐干涉仪，包括光源及光源调整单元、分光准直单元、信号提取和时域相移单元、成像单元、空域相移单元、图像采集单元，光源及光源调整单元包括光源、滤光片、偏振调整器和光束扩展透镜与空间滤波组件，分光准直单元包括第一非偏振分光棱镜和准直透镜，成像单元为成像物镜，空域相移单元包括1/2波片、第二非偏振分光棱镜、x向偏振片和z向偏振片，构成双通道，图像采集单元包括x向CCD和z向CCD，第一非偏振分光棱镜处于x方向与z方向相交的交点处，z向CCD和x向CCD在两个通道上，用于采集待测量物体的具有相移量的干涉条纹图。该干涉仪具有正交偏振空域相移和时域相移功能。

主权项

基于正交偏振光的双通道时空混合相移菲佐干涉仪，其特征在于：所述干涉仪包括光源及光源调整单元、分光准直单元、信号提取和时域相移单元、成像单元、空域相移单元、图像采集单元，其中，所述的光源及光源调整单元包括光源(101)、滤光片(102)、偏振调整器(103)和光束扩展透镜与空间滤波组件(104)，所述的分光准直单元包括第一非偏振分光棱镜(105)和准直透镜(106)，所述的光源(101)、滤光片(102)、偏振调整器(103)、光束扩展透镜与空间滤波组件(104)、第一非偏振分光棱镜(105)、准直透镜(106)和信号提取和时域相移单元(107)沿z方向的正方向依次设置，信号提取和时域相移单元(107)正对待测量物体(108)，所述的成像单元为成像物镜(109)，所述的空域相移单元包括1/2波片(110)、第二非偏振分光棱镜(111)、x向偏振片(113)和z向偏振片(114)，构成双通道，所述的图像采集单元包括x向CCD(115)和z向CCD(116)，所述的成像物镜(109)、1/2波片(110)、第二非偏振分光棱镜(111)、x向偏振片(113)和x向CCD(115)沿x方向的正方向依次设置，1/2波片(110)的快轴方向与x方向呈22.5°的夹角，并且所述的第一非偏振分光棱镜(105)处于x方向与z方向相交的交点处，所述的z向偏振片(114)与x向偏振片(113)以所述的第二非偏振分光棱镜(111)为基点，按照相互垂直偏振位置的方向放置，z向偏振片(114)和z向CCD(116)沿与z方向的负方向相平行的方向设置，z向CCD(116)和x向CCD(115)在两个通道上，用于采集待测量物体(108)的具有相移量的干涉条纹图；所述的信号提取和时域相移单元(107)包括偏振分光棱镜(1071)、可移动平台(1072)和固定平台(1073)，所述固定平台(1073)具有压电陶瓷微位移器，可移动平台(1072)安装在固定平台(1073)上，并且与压电陶瓷微位移器相连接，能够在压电陶瓷微位移器驱动下产生相移，所述的偏振分光棱镜(1071)安装在可移动平台(1072)上，与可移动平台(1072)联动，所述的偏振分光棱镜(1071)位于z方向上，位于准直透镜(106)与待测量物体(108)之间，并且正对待测量物体(108)。