发明名称 改进的研磨抛光机
摘要 一种改进的研磨抛光机,包括基座,所述基座具有碗状物,转动的驱动盘和适于支撑压盘的驱动盘驱动器。所述研磨抛光机包括头部,所述头部设置用于支撑样品支架。头部具有用于样品支架的旋转驱动的第一驱动器和用于移动样品架接近和远离驱动盘的第二驱动器。根据第一个方面,头部包括可操作地与第一驱动器连接的测压元件和可操作地与第二驱动器连接的计数器。计数器设置用于确定头部接近和远离驱动盘的移动和移动程度。具有控制系统。根据第二个方面,具有指状物,指状物可从可与样品支架一起转动的头部的部分延伸和缩回。根据第三个方面,具有用于与碗状物配合的可替换的碗状衬垫。在第四个方面,在头部设有照明设备。
申请公布号 CN105522474A 申请公布日期 2016.04.27
申请号 CN201610035016.5 申请日期 2009.06.04
申请人 伊利诺斯工具制品有限公司 发明人 查尔斯·E·休伊;道格拉斯·A·希克考斯基;迈克尔·F·哈特
分类号 B24B37/04(2012.01)I;G01N1/32(2006.01)I;B24B37/34(2012.01)I;B24B37/27(2012.01)I;B24B37/005(2012.01)I 主分类号 B24B37/04(2012.01)I
代理机构 上海脱颖律师事务所 31259 代理人 脱颖
主权项 一种改进的研磨抛光机,包括:基座,所述基座具有碗状物,转动的驱动盘和驱动盘驱动器,所述驱动盘适于支撑压盘;头部,所述头部设置用于支撑样品支架并具有用于样品支架的旋转驱动的第一驱动器,所述头部具有用于移动样品支架接近和远离所述压盘的第二驱动器,头部的一部分可与样品支架一起转动;指状物,该指状物可以从可与所述样品支架一起旋转的头部的部分伸出或缩回,所述指状物设置成与定位在样品支架上的样品接触并施加压力在样品上以使所述样品接合所述压盘。
地址 美国伊利诺伊州