| 发明名称 |
POLISHING PAD WITH POROUS INTERFACE AND SOLID CORE, AND RELATED APPARATUS AND METHODS |
| 摘要 |
화학-기계적 연마를 위한 연마 패드가 개시된다. 연마 패드는 다공성 계면 및 실질적으로 비다공성인 벌크 코어를 갖는다. 또한 관련 장치 및 연마 패드를 사용하고 제조하는 방법이 개시된다. |
| 申请公布号 |
KR20160045093(A) |
申请公布日期 |
2016.04.26 |
| 申请号 |
KR20167007014 |
申请日期 |
2014.08.14 |
| 申请人 |
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
VACASSY ROBERT;FOTOU GEORGE |
| 分类号 |
H01L21/304;B24B37/04;B24B37/22;B24B37/24;H01L21/02;H01L21/306;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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