DROP PATTERN GENERATION WITH EDGE WEIGHTING

摘要

임프린트 리소그래피는 유체 맵을 생성하는 단계, 유체 드롭 패턴을 생성하는 단계 및 유체 드롭 패턴에 따라서 기판에 유체를 적용하는 단계를 포함할 수 있다. 유체 드롭 패턴은 1회 이상의 변형된 로이드 법의 반복을 통해 엣지 가중치를 사용하여 생성될 수 있으며, 그 결과 표면 피처들이 임프린트 동안 유체로 실질적으로 충전된다.