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감도, 보존 안정성, 도포성, 현상성, 및 안전성이 우수하고, 노광 및 현상에 의해, 이물의 발생이 억제된 패턴을 형성할 수 있는 감방사선성 조성물 및 그것을 사용한 패턴 제조 방법을 제공한다. 본 발명에 관련된 감방사선성 조성물은, 하기 일반식 (1) 로 나타내는 화합물을 함유한다. 식 중, R은, 수소 원자 또는 하이드록실기를 나타내고, R및 R은, 독립적으로 수소 원자 또는 C∼ C의 알킬기를 나타내고, R및 R는, 독립적으로 C∼ C의 알킬기를 나타낸다. |
