| 摘要 |
본 발명은 화학 기계적 연마 장치용 캐리어 헤드의 리테이너 링에 관한 것으로, 웨이퍼의 판면을 바닥판으로 가압하는 멤브레인과, 멤브레인의 상기 바닥판을 감싸는 구비한 화학 기계적 연마 장치용 캐리어 헤드의 리테이너 링으로서, 상기 리테이너 링의 저면에는 원주 방향으로 간격을 두고 이격된 다수의 절개부가 구비되되, 상기 절개부는 상기 리테이너 링의 내주면과 연통되지만 상기 리테이너 링의 외주면까지는 연통되지 않는 형상으로 형성되고; 상기 절개부의 입구로부터 상기 리테이너 링의 외측의 출구까지 상기 저면으로부터 이격된 경로로 연장된 배출 통로가 마련되어, 리테이너 링에 의하여 둘러싸인 상태로 화학 기계적 연마 공정이 행해지는 웨이퍼(W)의 가장자리에서도 슬러리 찌꺼기에 의하여 화학 기계적 연마 공정이 방해받지 않고 균일한 연마가 이루어지게 하는 화학 기계적 연마 장치용 캐리어 헤드 및 이에 사용되는 리테이너 링을 제공한다. |
