| 发明名称 |
薄膜太陽電池セルを製造するための装置および方法 |
| 摘要 |
Improved methods and apparatus for forming thin-film layers of semiconductor material absorber layers on a substrate web. According to the present teachings, a semiconductor layer may be formed in a multi-zone process whereby various layers are deposited sequentially onto a moving substrate web. |
| 申请公布号 |
JP5908513(B2) |
申请公布日期 |
2016.04.26 |
| 申请号 |
JP20140047254 |
申请日期 |
2014.03.11 |
| 申请人 |
ハナジー・ハイ−テク・パワー・（エイチケー）・リミテッド |
发明人 |
ジェフリー・エス・ブリット;スコット・オルブライト |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/06;C23C14/56;H01L21/363;H01L31/0749;H01L31/18 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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