| 摘要 |
본 발명에 따르면, 질량 유동 제어기로부터 표시 유동을 제공하는 질량 유동 제어기 및 관련된 방법이 개시되어 있다. 이 방법은 질량 유동 제어기에 의해 제어되는 유체의 질량 유동률을 표시하는 측정 유동 신호를 얻는 단계 그리고 측정 유동 신호를 필터링하여 유체의 실제의 질량 유동률의 표현을 제공하는 표시 유동을 발생시키는 단계를 포함할 수 있다. 표시 유동은 질량 유동 제어기의 조작자에게 제공되고, 유체의 질량 유동률의 변화율이 측정 유동 신호의 샘플을 기초로 하여 결정된다. 필터링과 연계하여 사용되는 시간 상수가 그 다음에 질량 유동률의 변화율을 기초로 하여 조정된다. |
