FinFET FinFET DEVICE AND METHOD OF FABRICATING SAME

摘要

집적회로 구조물은 반도체 기판, 및 반도체 기판으로 연장되는 분리 영역을 포함하고, 분리 영역은 서로 마주보고 있는 대향 측벽을 갖는다. 핀 구조는 분리 영역의 상면보다 높은 실리콘 핀, 실리콘 핀에 의해 오버랩되는 게르마늄 함유 반도체 영역, 게르마늄 함유 반도체 영역의 대향측부들 상의 실리콘 산화물 영역, 및 실리콘 산화물 영역 중 하나와 실리콘 핀 사이에서 접촉하는 게르마늄 함유 반도체층을 포함한다.