| 发明名称 |
VARIABLE FREQUENCY MICROWAVE(VFM) PROCESSES AND APPLICATIONS IN SEMICONDUCTOR THIN FILM FABRICATIONS |
| 摘要 |
기판을 프로세싱하기 위한 방법들 및 장치가 여기에서 설명된다. 진공 다중-챔버 증착 툴은, 가변 주파수 마이크로파 소스 및 가열 메커니즘 양자 모두를 갖는 디개스 챔버를 포함할 수 있다. 여기에서 설명되는 방법들은, 다양한 컴포넌트들을 손상시키지 않으면서, 디개스 프로세스의 속도 및 품질을 증가시키기 위해, 가변 주파수 마이크로파 복사를 사용한다. |
| 申请公布号 |
KR20160044573(A) |
申请公布日期 |
2016.04.25 |
| 申请号 |
KR20167007297 |
申请日期 |
2014.07.02 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
KE CHANG;OW YUEH SHENG;WONG LOKE YUEN;JUPUDI ANANTHKRISHNA;MORI GLEN T.;KITOWSKI AKSEL;BARMAN ARKAJIT ROY |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/3105;H01L21/67 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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