| 摘要 |
材料アプリケーターの検査、位置合わせ及び動作のための３次元画像データを取り込むためのシステム及び方法が、電子基板の３次元画像データを取り込むように構成される撮像システムを含む。撮像システムは、光のスペクトルを実質的に第１の軸に沿ってある角度で電子基板の表面に投影するように構成される１つ又は複数の照明装置を含む。撮像システムは、電子基板表面から反射される光のスペクトルを検出するように構成されるイメージセンサー組立体を更に含み、イメージセンサー組立体は視認面を含む。材料塗布は、撮像システムに結合されるコントローラーを含む。コントローラーは、撮像システムの動きを制御し、かつイメージセンサー組立体と通信して電子基板の表面構造の３次元画像を生成するように構成される。 |
