非晶質形成能を有する結晶質合金、その製造方法、スパッタリング用合金ターゲット及びその製造方法

摘要

本発明は、非晶質形成能を有しながらも、熱的安定性が非晶質に比べて、著しく優れた非晶質形成能を有する結晶質合金及びその製造方法の提供を目的とする。また、本発明は、結晶質合金を用いて製造したスパッタリング用合金ターゲット及びその製造方法の提供をさらに他の目的とする。本発明の一観点によれば、非晶質形成能を有する３元素以上からなる合金であって、合金の結晶粒平均サイズは、０．１μｍ〜５μｍの範囲にあり、合金は、Ｚｒが６７原子％〜７８原子％、Ａｌ及びＣｏのうちから選択された何れか１つ以上が４原子％〜１３原子％、Ｃｕ及びＮｉのうちから選択された何れか１つ以上が１５原子％〜２４原子％からなる非晶質形成能を有する結晶質合金が提供される。