取り外し可能なガス分配プレートを有するシャワーヘッド

摘要

取り外し可能なガス分配プレートを有するシャワーヘッドの実施形態が、本明細書内に提供される。いくつかの実施形態では、半導体処理チャンバ内で使用するためのシャワーヘッドは、第１面及び第２面を有するベースと、ベースの第２面に近接して配置されたガス分配プレートと、ガス分配プレートをベースに取り外し可能に結合するためにガス分配プレートの周縁部の周りに配置されたクランプと、ベースとガス分配プレートとの間に配置された熱ガスケットとを含むことができる。