晶圆加热器之结构

摘要

晶圆加热器之结构，其包括有复数环体与复数发热线体，其中复数环体相互堆叠设置而组成，以使晶圆置于其处所形成之空间内，并透过环体内所设置之发热线体对晶圆进行加热之动作，进而提高加热之效率。

主权项

一种晶圆加热器之结构，其包括：复数环体，相互堆叠设置，并于中央处形成有一空间；复数发热线体，设置于各环体内；其主要是将复数环体相互堆叠设置，以使晶圆可置于其中央处所形成之空间内，并透过环体内所设置之发热线体对晶圆进行加热之动作，进而提高加热之效率。