发明名称 分割装置和方法
摘要 明公开一种分割装置,其包含有:至少一个夹具工作台,其 上锁固有工件,该至少一个夹具工作台被配置来沿着进给方向移动;桥体,其位于该至少一个夹具工作台的上方延伸,该桥体具有第一侧面和第二侧面,该第二侧面与第一侧面相对;第一切割设备单元,其安装于该桥体上,并可沿着第一侧面横截于进给方向独立地移动;以及第二切割设备单元,其安装于该桥体上,并可沿着第二侧面横截于进给方向独立地移动,第一切割设备和第二切割设备用于切割工件。本发明还公开了一种分割方法。
申请公布号 TWI530994 申请公布日期 2016.04.21
申请号 TW103134373 申请日期 2014.10.02
申请人 先进科技新加坡有限公司 发明人 郑 志华;周 立基;邓 海旋;廖 俊杰
分类号 H01L21/301(2006.01) 主分类号 H01L21/301(2006.01)
代理机构 代理人 邱昱宇
主权项 一种分割装置,其包含有:至少一个夹具工作台,其上锁固有工件,该至少一个夹具工作台被配置来沿着进给方向移动;桥体,其于该至少一个夹具工作台的上方延伸,该桥体具有第一侧面和第二侧面,该第二侧面与第一侧面相对;第一切割设备,其安装于该桥体上,并可沿着第一侧面横截于进给方向独立地移动,其中该第一切割设备包含第一切割单元及第二切割单元,且该第一切割单元及该第二切割单元可移动地被设置在该桥体的该第一侧面;以及第二切割设备,其安装于该桥体上,并可沿着第二侧面横截于进给方向独立地移动,其中该第二切割设备包含第三切割单元及第四切割单元,且该第三切割单元及该第四切割单元可移动地被设置在该桥体的该第二侧面,第一切割设备和第二切割设备用于切割工件。
地址 新加坡