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发明名称
RADIATION SOURCE MODULE
摘要
In a projection exposure system, at least one auxiliary radiation source (32i) is provided for compensating for fluctuations of a main radiation source.
申请公布号
WO2016058826(A1)
申请公布日期
2016.04.21
申请号
WO2015EP72440
申请日期
2015.09.29
申请人
CARL ZEISS SMT GMBH
发明人
PATRA, MICHAEL
分类号
G03F7/20;H01S3/09
主分类号
G03F7/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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