| 摘要 |
領域の表面精度の定量的測定のための方法が提供される。本方法は、所定の表面領域に単色光の平面波を向けることと、表面領域に焦点を合わせたカメラ及びレンズシステムを用いて反射光の画像を記録することと、記録された画像から表面精度パラメータを導出することとを備える。本方法は、表面精度パラメータが、記録された画像のフーリエ変換を得ることによって決定されることを特徴とする。そして、所定のフーリエ成分をそのフーリエ変換のフーリエスペクトルにフィッティングし、そのフーリエ成分は、フーリエ変換の主軸に沿って且つ短軸にわたって、少なくとも大きなガウス成分及びスペクトルのピークとして決定される。続いて、フーリエ成分から表面領域の表面精度パラメータを決定する。 |
