| 摘要 |
본 발명의 실시예에 따른 플라즈마 발생장치는, 반응챔버와 진공펌프를 연통시키는 배기관; 이 배기관 상에 설치되고, 상류의 제1위치와 하류의 제2위치에서 배기관과 각각 연통되도록 배기관에 연결되는 적어도 하나의 바이패스관; 및 이 바이패스관에 결합된 플라즈마 반응기를 포함하는 것을 특징으로 하여서, 공정에 사용된 후 배출되는 PFC 가스를 재분해하여 PFC 가스의 방출을 대폭 감축함과 더불어, 재분해된 PFC 라디칼을 이용하여 공정 중에 진공라인에 쌓인 부산물을 세정하게 됨으로써, 장비 성능 및 수명의 향상과 제품 수율의 증대에 기여하는 효과가 있게 된다. |
