| 摘要 |
(과제) 처리 용기 내의 처리 공간에 접하는 부재의 표면에 대한 카본막의 밀착성을 향상시켜 파티클의 발생을 억제할 수 있는 성막 장치의 운용 방법을 제공한다. (해결 수단) 처리 용기(2) 내에서 보유지지(保持) 수단(22)에 보유지지된 피(被)처리체(W)의 표면에 카본막을 성막하는 성막 공정을 행함과 함께 불필요한 카본막을 제거하기 위해 클리닝 가스로 클리닝 공정을 행하도록 한 성막 장치의 운용 방법에 있어서, 성막 공정에 앞서, 처리 용기 내의 처리 공간에 접하는 부재의 표면에 카본막(74)의 밀착성을 향상시키고 그리고 클리닝 가스에 대하여 내성을 갖는 내성 프리코팅막(70)을 형성한다. 이에 따라, 카본막의 밀착성을 향상시키고, 게다가 불필요한 카본막을 제거하는 클리닝 처리를 행해도 내성 프리코팅막을 잔존시킨다. |
