光阻喷吐系统

摘要

光阻喷吐系统，该光阻喷吐系统包括有用以储存光阻液的储存槽、用以过滤光阻液杂质的光阻过滤器、用以排除微气泡的液体缓充器、用以将光阻液自储存槽引流出的泵以及用以控制光阻液自喷嘴喷吐出的流量的控制阀，其特征在于：光阻过滤器设置于储存槽与液体缓充器之间，透过液体缓充器对光阻过滤器预湿及过滤过程中产生的微气泡进行排除，以节省额外进行排气作业的时间以及光阻使用量。

主权项

一种光阻喷吐系统，该光阻喷吐系统包括有用以储存光阻液的一储存槽、用以过滤光阻液杂质的一光阻过滤器、用以排除微气泡的一液体缓充器、用以将光阻液自储存槽引流出的一泵以及用以控制光阻液自一喷嘴喷吐出的流量的一控制阀，其特征在于：该光阻过滤器设置于该储存槽与该液体缓充器之间，透过该液体缓充器对该光阻过滤器预湿及过滤过程中产生的微气泡进行排除。