| 发明名称 |
Beleuchtungsoptik für ein Projektionsbelichtungssystem |
| 摘要 |
Eine Beleuchtungsoptik (17i) für ein Projektionsbelichtungssystem (1) umfasst eine Mehrzahl von strahlungsreflektierenden Komponenten, wobei sämtliche der strahlungsreflektierenden Komponenten derart angeordnet sind, dass ein Strahl (10i) mit Beleuchtungsstrahlung (5) gleichsinnig an ihnen umgelenkt wird. |
| 申请公布号 |
DE102014221175(A1) |
申请公布日期 |
2016.04.21 |
| 申请号 |
DE201410221175 |
申请日期 |
2014.10.17 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT GMBH |
发明人 |
PATRA, MICHAEL;BIELING, STIG;DEGÜNTHER, MARKUS;MÜLLER, RALF |
| 分类号 |
G03F7/20 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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