发明名称 无碳刷旋转电浆电极结构及镀膜系统
摘要 明提出一种无碳刷旋转电浆电极结构。无碳刷旋转电浆电极结构包括本体、复数个导引部以及复数个导通件。本体包括复数个电极部。电极部的周缘设置第一凸出部。导引部贯穿于电极部。各导通件包括第二凸出部,第一凸出部与第二凸出部具有一间隔。此外,一种镀膜系统亦被提出。
申请公布号 TWI530584 申请公布日期 2016.04.21
申请号 TW104101506 申请日期 2015.01.16
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 林士钦;张家豪;林冠宇
分类号 C23C16/509(2006.01);C23C16/513(2006.01);C23C16/517(2006.01);H05H1/34(2006.01);H05H1/46(2006.01) 主分类号 C23C16/509(2006.01)
代理机构 代理人 林坤成;林瑞祥
主权项 一种无碳刷旋转电浆电极结构,包括:一本体,其绕一轴心进行转动,该本体包括复数个间隔设置的电极部,各该电极部的周缘设置一第一凸出部;复数个导引部,贯穿于该些电极部;复数个导通件,各该导通件包括一第二凸出部,该第一凸出部与相对应的该第二凸出部具有一第一间隔。
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号